OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV 高真空三温区CVD系统

应用范围:高真空三温区CVD系统OTF-1200X-4--C9HV是由九通道质量流量控制器和高真空机组组成的CVD系统,其炉管直径为4″,最高温度可达1200℃,极限真空可达 10-5 torr,混气系统可对1-9种气体进行精确的混合,然后导入管式炉内部,可用来研究气体环境对材料的影响。

产品型号:OTF-1200X-4--C9HV

重量:100kg


       高真空三温区CVD系统OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV是由九通道质量流量控制器和高真空机组组成的CVD系统,其炉管直径为4″,最高温度可达1200℃,极限真空可达 10-5 torr,混气系统可对1-9种气体进行精确的混合,然后导入管式炉内部,可用来研究气体环境对材料的影响。
  功能特点
  • 炉体采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面的温度<60℃。

  • 保温材料采用高纯氧化铝纤维,减少热量损失,且内膛涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率,延长使用寿命。

  • 设有三个温区,可独立控温,可设置50段升降温程序,并设有过热和断偶保护。

  • 供气系统与真空机组置于移动架内,方便移动。

  • 真空系统采用一键操作,按下“start”键后隔膜泵和涡轮分子泵将会启动(隔膜泵先启动,待真空度达到 10-2mbar后分子泵自动启动)。

  • 根据腔体内的真空度,系统自动控制旋片泵的旋转速率

  • 已通过CE认证。

  技术参数
安装条件本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
不需要
AC220V 50Hz,必须有良好接地
设备腔室内需充注气体,需自备气瓶气源
工作台尺寸1600mm×600mm×700mm,承重150kg以上
通风装置需要
管式炉电源AC 208V-240V单相 50Hz/60Hz 7KW
炉管高纯石英管,外径Ø100mm×内径Ø92mm×1400mm
加热元件掺钼铁铬铝合金电阻丝,表面涂有氧化锆
加热区温区I长220mm,温区II长440mm,温度III长220mm,总长880mm
恒温区500mm(三个温区设为同一温度时)
工作温度最高1200℃,连续工作1100℃
最大升温速率≤20℃/min
控温精度±1℃
热电偶3根K型热电偶
高真空机组输入电源AC110V或AC220V可切换 50Hz/60Hz
消耗功率110W
壳体尺寸600mm×600mm×700mm
最大承重量270kg
抽气速率N2-33L/s,He-39L/s,H2-32L/s
工作范围1000mbar-<10-7mbar
极限真空度10-5torr
数字式真空显示计10-8mbar-103mbar
质量流量混气系统质量流量计9通道精密质量流量计
流量计范围10scc-1000scc三个,20scc-200scc三个,30scc-10scc三个
压力表3个,用来检测混合气体压力
炉体尺寸550mm×380mm×520mm
高真空机组尺寸600mm×600mm×700mm
质量流量混气系统尺寸600mm×600mm×700mm
重量100kg
真空配件1不锈钢真空密封法兰2个
2精密针阀2个
31/4″软管接头1个
4高温硅胶O型密封圈(最高可承受300℃)6个
5氧化铝管堵1套
6KF-40真空波纹管1根
7KF-40快速卡箍3个
8KF-25卡箍2个
可选配件防腐型数字式真空显示计

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