OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV 高真空三温区CVD系统
应用范围：高真空三温区CVD系统OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV是由九通道质量流量控制器和高真空机组组成的CVD系统，其炉管直径为4″，最高温度可达1200℃，极限真空可达 10-5 torr，混气系统可对1-9种气体进行精确的混合，然后导入管式炉内部，可用来研究气体环境对材料的影响。
产品型号：OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV
重量：100kg
高真空三温区CVD系统OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV是由九通道质量流量控制器和高真空机组组成的CVD系统，其炉管直径为4″，最高温度可达1200℃，极限真空可达 10-5 torr，混气系统可对1-9种气体进行精确的混合，然后导入管式炉内部，可用来研究气体环境对材料的影响。
| 功能特点 |
|---|
炉体采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面的温度<60℃。
保温材料采用高纯氧化铝纤维，减少热量损失，且内膛涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率，延长使用寿命。
设有三个温区，可独立控温，可设置50段升降温程序，并设有过热和断偶保护。
供气系统与真空机组置于移动架内，方便移动。
真空系统采用一键操作，按下“start”键后隔膜泵和涡轮分子泵将会启动（隔膜泵先启动，待真空度达到 10-2mbar后分子泵自动启动）。
根据腔体内的真空度，系统自动控制旋片泵的旋转速率
已通过CE认证。
| 技术参数 | |||
|---|---|---|---|
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 | ||
| 水 | 不需要 | ||
| 电 | AC220V 50Hz，必须有良好接地 | ||
| 气 | 设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源 | ||
| 工作台 | 尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上 | ||
| 通风装置 | 需要 | ||
| 管式炉 | 电源 | AC 208V-240V单相 50Hz/60Hz 7KW | |
| 炉管 | 高纯石英管，外径Ø100mm×内径Ø92mm×1400mm | ||
| 加热元件 | 掺钼铁铬铝合金电阻丝，表面涂有氧化锆 | ||
| 加热区 | 温区I长220mm，温区II长440mm，温度III长220mm，总长880mm | ||
| 恒温区 | 500mm（三个温区设为同一温度时） | ||
| 工作温度 | 最高1200℃，连续工作1100℃ | ||
| 最大升温速率 | ≤20℃/min | ||
| 控温精度 | ±1℃ | ||
| 热电偶 | 3根K型热电偶 | ||
| 高真空机组 | 输入电源 | AC110V或AC220V可切换 50Hz/60Hz | |
| 消耗功率 | 110W | ||
| 壳体尺寸 | 600mm×600mm×700mm | ||
| 最大承重量 | 270kg | ||
| 抽气速率 | N2-33L/s，He-39L/s，H2-32L/s | ||
| 工作范围 | 1000mbar-<10-7mbar | ||
| 极限真空度 | 10-5torr | ||
| 数字式真空显示计 | 10-8mbar-103mbar | ||
| 质量流量混气系统 | 质量流量计 | 9通道精密质量流量计 | |
| 流量计范围 | 10scc-1000scc三个，20scc-200scc三个，30scc-10scc三个 | ||
| 压力表 | 3个，用来检测混合气体压力 | ||
| 炉体尺寸 | 550mm×380mm×520mm | ||
| 高真空机组尺寸 | 600mm×600mm×700mm | ||
| 质量流量混气系统尺寸 | 600mm×600mm×700mm | ||
| 重量 | 100kg | ||
| 真空配件 | 1 | 不锈钢真空密封法兰 | 2个 |
| 2 | 精密针阀 | 2个 | |
| 3 | 1/4″软管接头 | 1个 | |
| 4 | 高温硅胶O型密封圈（最高可承受300℃） | 6个 | |
| 5 | 氧化铝管堵 | 1套 | |
| 6 | KF-40真空波纹管 | 1根 | |
| 7 | KF-40快速卡箍 | 3个 | |
| 8 | KF-25卡箍 | 2个 | |
| 可选配件 | 防腐型数字式真空显示计 | ||
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