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EQ-TM106 膜厚监测仪

应用范围：EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理，结合先进的频率测量技术，进行膜厚的在线监测。主要应用于MBE、OLED热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中，对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。根据实时速率可以输出PWM模拟量，作为膜厚传感器使用，与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制。

产品型号：EQ-TM106

EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理，结合先进的频率测量技术，进行膜厚的在线监测。主要应用于MBE、OLED热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中，对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。根据实时速率可以输出PWM模拟量，作为膜厚传感器使用，与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制。

性能指标和基本配置
主要特点	● 本机可与计算机连接。 ● 显示仪具有界面简洁、直观、合理、操作方便快捷等优点，可直观显示所测的膜厚、速率、频率、PWM ● 控制输出的百分比等工作状态。 ● 通过软件或显示仪可对门控时间、输出方式、速率算法、材料参数、输出量程及通讯参数等进行设置，并可将所测相关数据写入Excel文件。 ● 具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等优点。
EQ-TM106-1监测组件	● 电源：DC 5V（±10%），最大电流400mA ● 频率分辨率：±0.03Hz ● 膜厚分辨率：0.0136Å（铝） ● 膜厚准确度：±0.5%，取决于过程条件，特别是传感器的位置，材料应力，温度和密度 ● 测量速度：100ms-1s/次，可设置 ● 测量范围：500000Å（铝） ● 标准传感器晶体：6MHz ● 计算机接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置，数据位：8，停止位：1，校验：无） ● 模拟输出：8比特分辨率，PWM脉宽调制输出（集电极开路或内部5V输出） ● 工作环境：温度0-50℃，湿度5%-85%RH，不得有冷凝水珠 ● 外形尺寸：90mm×50mm×18mm
EQ-TM106-2显示仪	● 输入电源：AC 220V±10% ● 输出电源：DC 5V 3A ● 显示器：12×2数码管与LED ● 通讯端口：RS-485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置，数据位：8位，停止位：1位，奇偶校验：无） ● 外形尺寸：182mm×65mm×160mm
EQ-TM106-3探头	● 适用晶片频率：6MHz ● 适用晶片尺寸：Φ14mm ● 安装法兰：CF35 ● 冷却水管：Φ3mm，长度300mm、500mm、1000mm ● 冷却水压：<0.3MPa ● 气动挡板路管：Φ3mm ● 压缩空气压力： ● 烘烤温度：通水状态<200℃，不通水状态法兰<100℃ ● 电气接口：BCN插座
标准配件	1EQ-TM106-1监测组件1个2EQ-TM106-2显示仪1台3EQ-TM106-3探头1个
保修期	一年保修，终身技术支持。点击查看售后服务承诺书。

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