HVC-SS 高真空腔体

应用范围:本公司提供高真空腔体,客户可自行为一些实验搭建真空系统,如等离子溅射,CVDALD等实验,同时也可作为高真空储存箱。

产品型号 :HVC-SS


       本公司提供高真空腔体,客户可自行为一些实验搭建真空系统,如等离子溅射,CVD或ALD等实验,同时也可作为高真空储存箱。

 性能指标和基本配置
腔体

● 真空腔体是采用304不锈钢制作
● 内部尺寸为:372mm(L) x 420mm(W) x 480mm(H)
● 真空腔体前部安装有一个直径为350mm的门,而且门上面有一个直径为150mm的玻璃窗口
● 门部位采用硅胶密封圈密封
● 真空度可达到1×10-6 torr
● 内部加热平台的温度可达到150℃

接口

● 腔体后端有一个KF40接口,用于连接真空泵
● 顶部有一1/4 NPS
● 顶板可以进行打孔和改造,以便于安装各种接口和接头
● 客户可在本公司购买快速真空接头

可选

● 本公司进口的防腐型数字式真空显示计,不需因测量气体种类不同而需要系数转换(请点击图片查看详情)
● 分子泵系统(可选配)

外形尺寸


保修期一年保修,终身技术支持。
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