GSL-1700X-4-C2HV 1700℃两通道混气高真空CVD系统
应用范围：1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV是由单温区管式炉、两路质子混气系统和高真空机组组成，最高工作温度可达1600℃，混气系统可以对两种气体进行精确的混气，然后导入管式炉内部，本系统极限真空度可达10-5 torr。
产品型号：GSL-1700X-4-C2HV
1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV是由单温区管式炉、两路质子混气系统和高真空机组组成，最高工作温度可达1600℃，混气系统可以对两种气体进行精确的混气，然后导入管式炉内部，本系统极限真空度可达10-5 torr。
| 功能特点 |
|---|
双层壳体，配有风冷系统，壳体温度<55℃。
采用高纯氧化铝纤维，有效减少热量损失。
内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高加热效率和使用寿命。
采用PID控制器 ，可以设置30段升降温程序。
已通过CE认证。
| 技术参数 | ||
|---|---|---|
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 | |
| 水 | 不需要 | |
| 电 | AC220V 50Hz，必须有良好接地 | |
| 气 | 设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源 | |
| 工作台 | 尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上 | |
| 通风装置 | 需要 | |
| 管式炉 | 电源 | 单相AC 208V-240V 50Hz/60Hz 6KW |
| 炉管 | 高纯氧化铝陶瓷管，外径Ø100mm，内径Ø92mm，长1000mm | |
| 加热元件 | 1800℃硅钼棒8根 | |
| 加热区域 | 457mm | |
| 恒温区域 | 150mm | |
| 工作温度 | 最高1650℃，连续工作1600℃ | |
| 最大升降温速率 | ≤5℃/min | |
| 控温精度 | ±1℃ | |
| 热电偶 | B型 | |
| 不锈钢真空法兰 | 1对 | |
| 机械压力表 | 1个 | |
| 针阀 | 2个 | |
| 连接器 | KF-25，1个 | |
| 抽气接口 | KF-25转KF-40 | |
| 卡套接头 | 1/4″ | |
| 高真空机组 | 电源 | 单相AC208V-240V 50Hz/60Hz 100W-110W |
| 真空泵 | 德国Pfeiffer真空泵 | |
| 显示屏 | LCD数字显示 | |
| 抽气速率 | N2-33L/s，He-39L/s，H2-32L/s | |
| 工作范围 | 1000mtorr-10-7mtorr | |
| 极限 | 10-8mtorr（无泄漏） | |
| 质量流量混气系统 | 电源 | 单相AC208V-240V 50Hz/60Hz 18W |
| 功率 | 18W | |
| 混气箱 | Φ80mm×120mm | |
| 管式炉尺寸 | 550mm×380mm×520mm | |
| 高真空机组尺寸 | 600mm×600mm×700mm | |
| 质量流量混气系统尺寸 | 600mm×600mm×700mm | |
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